如果将FOL车间比喻成一家豪华七星级大酒店，键合工序机台众多，被安排在了大堂，晶圆切割工序跟减薄工序一样，机台数量少，都安排在了dú • lì 的小包厢里。
这两个工序通过一道小门相连接，共用去离子DI纯水。
DI纯水的作用有三个，一个是清洗切割过程中产生的硅屑，一个是对切割过程产生的热量起到降温，另一个是对晶圆起到ESD静电防护。
切割的目的是将圆镜一般的晶圆分割成一粒一粒具有dú • lì 电气性能的Die，每一个Die经过封装之后将成为一个dú • lì 的芯片。
今天，在工程技术人员对薄片的极致追求下，晶圆减薄后的厚度也不断刷新记录，从100μm到50μm、再到30μm。
为了满足切割薄片的需要，获得dú • lì 芯片的切割方法也从掰开、刀片切割，到激光切割，再到等离子切割，不断变化发展着。
2003年，刀片切割是主流切割方式，直到今天这种切割方式依旧被众多封测厂广泛采用。
晶圆切割洁净室里，远远望去，一片片晶圆在日光灯的照耀下银光闪闪。
走近仔细一看，让人惊讶，那上面竟然生长了密密麻麻的晶粒，晶粒与晶粒之间的间隔结构好像街道一般，那就是划片槽，英文名叫Dig Street，非常形象。
穿着白色静电衣的操作员正忙着上下物料，穿着蓝色静电衣的工程技术人员正忙着改机操作，穿着红色连体静电衣的检验员正在测量切割后的切割道宽度，以便控制产品质量，一片忙碌。
辛佟走到一台晶圆切割机旁边，静静地凝视着切割台，没有火花四射，也没有刺耳的噪音，金刚石切割刀在晶圆上轻轻一划，如舟行水上，Single Pass，将宝刀削铁如泥的功效发挥到了极致，晶粒就这样被疾速分割开来了。
辛佟的眼前立刻闪过金庸笔下若干个胸怀大志的剑客身影，他们一生都在为找到一把稀世宝剑而浪迹天涯奔波江湖。
仗剑天涯，弹剑而歌，这是何等惬意之事！
很显然，这道工序的成败与刀有关。
切割刀的质地从本质上决定了它的切割质量，切割的转速和进给速度可以将刀的质地发挥到极致，真正达到削铁如泥的境界！
不过，再锋利的刀都有钝化的那一刻，刀具的寿命管控在这个工序尤其重要。
“如何保证这些刀具使用的质量？”辛佟转过头问道。
“辛经理，你看到检验员了吗？她们会抽查切割宽度和产品外观，如果发生刀具崩边异常，通过产品检验，我们是可以知道的。”姜华回答道。
在公共场合，他称呼辛佟为经理，不过私下里，他喜欢喊他老同学。
辛佟的脸上立刻布满了阴云，很显然这种回答不能令他满意，等到产品出现异常了再去思考换刀具，一大堆不良品都制造出来了，黄花菜都凉了！
“辛经理，我们会管控刀具的寿命！”谢剑风一边说，一边打开了设备的控制界面。
“你看，刀具的寿命在这里，切割的次数在这里！当刀具的寿命超期，设备会报警提醒！”谢工指着控制界面说道。
“谢谢！”辛佟点了点头。
采用报警提醒功能不错，这种从源头预防的方法才是正确的管控方式！
“切割道宽度是多少？”用肉眼看上去，切割后的晶圆依旧完整无缺，提到刀具，辛佟忍不住好奇地问道。
“这把刀能够达到的最小切割线宽度是35微米。”谢工用手指着切割刀说道。
35微米！难怪切割无痕啊！
辛佟静静地盯着切割台，很快一层蓝色的薄膜引起了他的兴趣，在减薄工序他也看到过这层蓝膜，不过到了切割工序，蓝膜是固定在一个金属钢圈上。
“非常有意思，晶圆下面的蓝膜套在了钢圈上！”辛佟说道。
“这层Tape是为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤，切割分离后的晶粒会粘在蓝膜上，钢圈是用来固定蓝膜的。”谢工解释道。
“噢！”辛佟点了点头。
他静静地看着晶圆切割，除了金庸的武侠小说，他还从来没有见过也从来没有听过有如此又快又锋利的刀！
这真是一把惊世好刀！
大开眼界了！
冷静思考了一下，对于一刀切他还是充满了疑问，担心切割应力会造成晶圆崩边：“谢工，我们减薄后的晶圆厚度还有150微米，一刀切到底是否合理？”
“辛经理，实践经验告诉我们一刀切问题不大，当然现在有切两刀的工艺，叫阶梯切割(Step Cut)，用两把刀片完成对晶圆的切割，切两刀这种工艺可以有效改善芯片崩边的问题。”谢工说道。
“谢工，我们摩托罗拉项目需要采用阶梯切割，一刀切的风险太大了！”辛佟说道。
虽然没有实践经验，前一世他是理科大神，从受力分析，他觉得两刀切对晶圆施加的应力会少很多，肯定质量更好。
本章未完，请点击下一页继续阅读